36氪獲悉，精密儀器裝備研發(fā)企業(yè)「普樂精儀」日前完成千萬級天使＋輪融資，投資方為南山戰(zhàn)新投。普樂精儀為奇績創(chuàng)壇2023春季營團隊，此前已獲奇績創(chuàng)壇天使輪投資，累計融資金額達數(shù)千萬元人民幣。本輪融資資金將用于市場開拓及產(chǎn)品研發(fā)。

（云科技大廈）

普樂精密儀器（深圳）有限公司（以下簡稱「普樂精儀」）成立于2023年3月，基于自研超分辨率顯微視覺方法，主攻超精密測量儀器及運動臺。精密測量主要應用于集成電路、高端數(shù)控機床等先進制造領域，解決高精度測量、定位等難題。伴隨下游應用場景迅速發(fā)展，精密測量也面臨量程更大、所需精度更高等挑戰(zhàn)。

現(xiàn)有精密測量方法主要包括光柵尺和激光干涉儀兩類，且均存在改進空間。光柵尺多為線性單軸測量，較難同時保證多軸正交性；激光測量則對環(huán)境穩(wěn)定性要求極高，且多自由度標定工作繁瑣費時。

對此，普樂精儀自研超分辨率顯微視覺測量方法，能夠同時測量平面線性及角度位移，實時精確記錄運動軌跡，絕對式編碼保證定位精準，且結構更簡單、成本更低，能夠廣泛適用于各精密測量場景。

具體來看，這一測量方法基于創(chuàng)始人趙晨陽提出的超分辨率微結構，并采用單點金剛石切削等工藝制造其精密部件，確保功能實現(xiàn)。該測量方法的光學模型由普樂精儀團隊自主提出，通過光強、光源等要素的選擇及應用，保障測量設備運作過程中的穩(wěn)定性等。此外，普樂精儀的核心算法也幫助提高測量精度及計算速度。

技術原理基礎上，普樂精儀現(xiàn)已開發(fā)精密運動臺及精度分析儀兩產(chǎn)品方向，分別面向半導體晶圓加工檢測及高端數(shù)控機床診斷。

其中，精密運動臺是用于晶圓檢測、激光切割等集成電路生產(chǎn)環(huán)節(jié)中重要設備組件。普樂精儀產(chǎn)品使用超分辨率顯微視覺測量方法，并配合視覺伺服技術，能夠超越傳統(tǒng)運動臺所使用的光柵尺，實現(xiàn)運動臺絕對位置的精準定位并精確記錄每次運動軌跡。相比市面占主導的國際廠商產(chǎn)品，普樂精儀運動臺生產(chǎn)成本約能降至其1/2。

機床精度分析儀主要用于數(shù)控機床出廠及使用中的校準，普樂精儀產(chǎn)品能夠替代目前廣泛使用的球桿儀，解決此前接觸式測量導致的磨損、無法測量小半徑圓軌跡及任意軌跡等問題。普樂精儀機床分析儀現(xiàn)已實現(xiàn)三自由度、1μm精度級別的非接觸式任意軌跡測量，同時價格更具優(yōu)勢。

團隊方面，公司創(chuàng)始人兼CEO趙晨陽為現(xiàn)任哈爾濱工業(yè)大學（深圳）機電工程與自動化學院副教授、博導，超精密測量儀器港澳聯(lián)合實驗室主任。公司其他核心成員均來自哈爾濱工業(yè)大學，團隊已在相關領域發(fā)表學術論文40余篇，授權發(fā)明專利10余項。

南山戰(zhàn)新投投資團隊表示，精密定位測量是工業(yè)自動化的重要組成部分，普樂精儀作為國內(nèi)第一家將基于顯微視覺的精密定位技術應用于超精密運動臺的團隊，在技術指標上優(yōu)秀，精度上可以做到納米級，在成本上具有普及的潛力，并實現(xiàn)了技術和供應鏈的國產(chǎn)自主可控。因此，產(chǎn)品有望拓展更多對高精度、大量程、性價比的半導體設備、高端數(shù)控機床行業(yè)，充分挖掘超精密測量儀器以及運動平臺應用的潛在市場。其次，團隊創(chuàng)始人是超精密測量領域知名學者，擁有國家重點實驗室學術背景，公司掌握前瞻性技術和工程化經(jīng)驗。如今，公司已完成高?？萍汲晒D(zhuǎn)化，產(chǎn)業(yè)化進程提速，普樂精儀未來可期。

奇績創(chuàng)壇合伙人欒運明表示，測量精度是制約國產(chǎn)儀器設備的重要瓶頸，普樂精儀團隊在這方面技術積累深厚，同時他們也有極強的產(chǎn)品迭代和供應鏈整合能力，在奇績創(chuàng)業(yè)營期間成立公司并發(fā)展快速。相信依托他們自主研發(fā)的精度分析儀與精密運動平臺的強勢入場，普樂精儀將成為超精密儀器和先進制造領域的新勢力，持續(xù)助力半導體設備、高端機床等行業(yè)的國產(chǎn)化突破。

哈深資產(chǎn)公司董事長王軒表示，普樂精儀作為集產(chǎn)學研一體的科技型公司，是哈工大（深圳）孵化的標志性項目成果。趙晨陽教授團隊在精密測量領域有著深厚的技術積累，基于自主研發(fā)的技術成果，打破了領域內(nèi)的國外技術壟斷，公司發(fā)展前景十分廣闊。同時，普樂精儀在產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展實踐過程中，展現(xiàn)出了旺盛的生命力與蓬勃的朝氣，這個年輕的科技公司將為國內(nèi)制造技術的發(fā)展持續(xù)貢獻力量。

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文丨肖千平

普樂精密儀器（深圳）有限公司成立于2023年3月，專注于半導體設備及高端數(shù)控機床等行業(yè)，核心成員來自哈爾濱工業(yè)大學大學等重點院校，是超精密測量儀器裝備國產(chǎn)替代的引領者。公司主要有精度分析儀(測量精度:1μm)和精密運動平臺(定位精度:500nm)兩大核心產(chǎn)品。